Fuente de alimentación de pulverización catódica de frecuencia media serie MSB
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Fuente de alimentación de pulverización catódica de frecuencia media serie MSB
La fuente de alimentación RF de la serie RHH se basa en una tecnología madura de generación de RF para proporcionar a los clientes una fuente de alimentación RF con mayor potencia, mayor precisión y respuesta rápida.Con fase se puede configurar, controlar por pulso, sintonización digital y otras funciones.Campos aplicables: industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semiconductores, industria química, laboratorio, investigación científica, fabricación, etc.
Procesos aplicables: deposición química de vapor mejorada con plasma (PECVD), grabado con plasma, limpieza de plasma, fuente de iones de radiofrecuencia, difusión de plasma, pulverización catódica de polimerización de plasma, pulverización catódica reactiva, etc.