Fuente de alimentación de pulverización catódica de frecuencia media serie MSB

Breve descripción:

La fuente de alimentación RF de la serie RHH se basa en una tecnología madura de generación de RF para proporcionar a los clientes una fuente de alimentación RF con mayor potencia, mayor precisión y respuesta rápida.Con fase se puede configurar, controlar por pulso, sintonización digital y otras funciones.Campos aplicables: industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semiconductores, industria química, laboratorio, investigación científica, fabricación, etc.

Procesos aplicables: deposición química de vapor mejorada con plasma (PECVD), grabado con plasma, limpieza de plasma, fuente de iones de radiofrecuencia, difusión de plasma, pulverización catódica de polimerización de plasma, pulverización catódica reactiva, etc.

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Características

● Estilos de montaje en bastidor y de medio ladrillo

● Adopte un control digital completo, con un menú de operación completo y conveniente

● Funciones de sintonización de frecuencia, pulso y sincronización de pulso

● Con función de sincronización de fase CEX

● Función de protección perfecta

Detalle del producto

Aporte	Voltaje de entrada: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (se pueden personalizar especificaciones especiales)
Aporte	Frecuencia de entrada: 47~63Hz
Producción	Frecuencia de salida: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Rango de sintonización: ±5%
	Potencia de salida: 1,5~5kW
	Rango de regulación de potencia de salida: 1~100%
	Impedancia de salida: 50Ω+j0
	Interfaz de salida: tipo N
	Modo de salida: continuo, pulso
	Frecuencia de pulso: 100Hz~100kHz
	Ciclo de trabajo: 5~95%
Índice de rendimiento	Factor de potencia: 0,98
	Precisión de estabilidad de frecuencia: ±0,005%
	Eficiencia: 75% (a potencia nominal)
	Armónico: <-45dBc
	Parásito: <-50dBc
	Interfaz de control externo: cantidad analógica, comunicación y sincronización.
	Modo de comunicación: interfaz de comunicación RS485 estándar;Opcional Ether CAT, Ethernet industrial, etc.
Nota: el producto continúa innovando y el rendimiento continúa mejorando.Esta descripción de parámetro es solo para referencia.