Fuente de alimentación RF serie RHH
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Fuente de alimentación RF serie RHH
La fuente de alimentación RF de la serie RHH se basa en tecnología avanzada de generación de RF para ofrecer a los clientes una fuente de alimentación RF de mayor potencia, precisión y respuesta rápida. Incluye configuración de fase, control de pulsos, sintonización digital y otras funciones. Campos de aplicación: industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semiconductores, industria química, laboratorios, investigación científica, fabricación, etc.
Procesos aplicables: deposición química en fase de vapor mejorada con plasma (PECVD), grabado de plasma, limpieza de plasma, fuente de iones de radiofrecuencia, difusión de plasma, pulverización catódica por polimerización de plasma, pulverización catódica reactiva, etc.