Fuente de alimentación de pulverización catódica de frecuencia media serie MSB

Breve descripción:

La serie MSB se basa en su excelente tecnología de modulación de forma de onda para generar CC, pulsos de CC, ondas cuadradas bidireccionales, ondas trapezoidales bidireccionales y otras formas de onda.El producto tiene una forma de onda de salida ajustable, una frecuencia de salida seleccionable, un ciclo de trabajo ajustable y un control de potencia preciso.Además de un bajo almacenamiento de energía y una rápida respuesta del arco.Proporciona un control conveniente y preciso para el proceso de recubrimiento.Los productos se utilizan principalmente en diversos procesos de fabricación de películas delgadas, en la industria de células solares y en la industria de recubrimiento al vacío;Procesos de aplicación: proceso de pulverización catódica con magnetrón, pulverización catódica de doble objetivo y PECVD tubular.

Detalle del producto

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Características

Instalación en bastidor
Respuesta de arco rápida, tiempo de respuesta <100 ns
Bajo almacenamiento de energía, <0,5 mJ/ KW
Tecnología PFC entrelazada multifase, el factor de potencia es de hasta 0,95
Se pueden seleccionar varios modos de salida, modos continuo e intermitente
El circuito inversor adopta tecnología de conmutación suave completa y utiliza el semiconductor SiC de tercera generación como dispositivo de alimentación, con excelente eficiencia.
Detección de arco precisa, múltiples métodos de monitoreo disponibles